半导体传感器工艺技术—MEMS(DOC 22).rar下载

下载内容简介

• 内容简介: 
  1 何谓MEMS ?
  2 MEMS特征、分类及主要加工方法
  3 MEMS的应用概况
  4 MEMS与科学技术
  5 展望——奇妙的MEMS应用畅想：

  1 何谓MEMS
  MEMS是Micro Electro-Mechanical System 
  (微电子机械系统)的简称，是由微机械加工技术(Micromachining)和微电子技术(Microelectronics 
  Technologies)相结合而制成的集成系统，它包括有微电子电路(IC) 
  、微执行机构以及微传感器。与MEMS一词同时流行的还有Micro Electro Mechanical 
  Technology(微电子机械技术、MEMT) 、Micromachine or Micromechanisum 
  (微机械) 
  、Microsystem(微系统、MS)。它们都是以微小(Micro)为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们常不加区别地与MEMS通用。

  MEMS是近十年来发展非常迅速的跨学科的新兴领域，MEMS技术的目标是把信息获取，处理和执行一体化地集成在一起，使之成为真正的微电子系统。这些装置把电路和运转着的机器装在一个硅芯片上，对于传统的“机械学”来说，MEMS不仅为之打开了“微尺寸”新领域的大门，也是真正实现机电一体化的开始。因此，正如70年代微电子技术引发了信息革命一样，MEMS 
  被认为是微电子技术的又一次革命，对21世纪的科学技术、生活方式和人类生活质量都会有深远的影响。
  2 MEMS特征、分类及主要加工方法

  MEMS是以微电子技术为基础，以单晶硅为主要基底材料、辅以体硅加工、表面加工、LIGA以及电镀、电火花加工等技术手段，进行毫米级和亚毫米级的微零件、微传感器和微执行器的三维和准三维加工，并利用硅IC工艺的优势，制造出集成化的微机电系统乃至微机器人。

下载信息

• 运行环境： Win9x/NT/2000/XP/
  资料作者： afds…
  开发语言： 简体中文
  资料类别： 国产软件
  下载累计： 本地下载1次
  下载地址：>>>下载地址1  
  

相关下载

• 没有相关资料